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全自動晶圓邊緣缺陷檢查設備
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♦ 多元化製程應用(磊晶、氧化、擴散、拋光、SOI等)
♦ 全片或單一區塊表面量測檢驗
♦ 全自動晶圓片表面缺陷檢驗
♦ 光學非接觸式量測
♦ 可圖像顯式量測缺陷處
冲成股份有限公司 / JC's Chunson Limited
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